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私はこのシリーズで育った!(2001-05-25)S.M.Sze監修の半導体製造技術(主にプロセス技術)に 関する著書の最新版にあたります。 私は当シリーズの前2作であるVLSI Technology 1st& 2nd Editionも持っていますが、その出版された時期に おいては常に最新の技術が体系的に解説されており とても良い参考書となりました。 最新版ですら出版されてから5年が経ちますが、 基本を勉強するには最適だと思います。私はこのシリーズから半導体プロセスエンジニアとして 必要な知識の多くを学びました。
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